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CMP化學(xué)機(jī)械拋光團(tuán)隊(duì)

上海新安納電子科技有限公司團(tuán)隊(duì)介紹

宋志棠,新安納公司董事長(zhǎng),特聘研究員,國家超級(jí)973、國家集成電路重大專項(xiàng)項(xiàng)目的首席科學(xué)家,第四批國家科技創(chuàng)業(yè)領(lǐng)軍人才,上海市領(lǐng)軍人才、國務(wù)院特殊津貼、跨世紀(jì)千百萬人才國家級(jí)人選。國內(nèi)PCRAM材料與器件研究的開創(chuàng)者,研制出我國第一款PCM芯片,其1500萬顆嵌入式芯片在國際首次應(yīng)用,創(chuàng)立相變八面體基元理論,自主ScSbTe、TiSbTe材料與雙溝道二極管等用于芯片。帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)建立起國內(nèi)第一條自主的電子級(jí)二氧化硅納米磨料生產(chǎn)線,研發(fā)出的電子二氧化硅納米磨料和拋光液實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化,每年產(chǎn)出超億元。在Sciences、Nature comm等期刊發(fā)表511篇論文,他引4517次;國內(nèi)外授權(quán)發(fā)明專利284項(xiàng)。“電子級(jí)二氧化硅納米拋光新材料及工業(yè)化制備關(guān)鍵技術(shù)”2016年獲上海市技術(shù)發(fā)明獎(jiǎng)一等獎(jiǎng),“相變存儲(chǔ)芯片制造核心技術(shù)及嵌入式應(yīng)用”2018年獲上海市科學(xué)技術(shù)發(fā)明獎(jiǎng)二等獎(jiǎng),相變材料的研究獲得2019年度中國材料研究學(xué)會(huì)科學(xué)技術(shù)一等獎(jiǎng)。

劉衛(wèi)麗,新創(chuàng)納公司總經(jīng)理,二級(jí)研究員,國家創(chuàng)新人才推進(jìn)計(jì)劃中青年創(chuàng)新領(lǐng)軍人才,曾獲上海市技術(shù)發(fā)明一等獎(jiǎng)、中國科協(xié)杰出青年成果轉(zhuǎn)化獎(jiǎng)、國家科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)等獎(jiǎng)項(xiàng)和榮譽(yù)稱號(hào)。是新安納和新創(chuàng)納兩家公司的發(fā)起人之一,劉博士是國家“十一五”和“十二五”兩項(xiàng)國家重大專項(xiàng)項(xiàng)目負(fù)責(zé)人和首席科學(xué)家,她帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)建立了具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的電子級(jí)二氧化硅納米磨料中試和生產(chǎn)線;開發(fā)了納米材料生長(zhǎng)新工藝,從原理和工藝上解決了納米材料粒徑不穩(wěn)定的問題;開發(fā)了高效藍(lán)寶石拋光液、金屬拋光液、硅片拋光液、氧化硅拋光液等。先后發(fā)表SCI論文一百多篇,被引用1580余次。申請(qǐng)國內(nèi)外發(fā)明專利98項(xiàng),其中授權(quán)71項(xiàng)(2項(xiàng)為美國專利)。

新創(chuàng)納公司在董事長(zhǎng)宋志棠博士和總經(jīng)理劉衛(wèi)麗博士的帶領(lǐng)下,共有博士9名,高級(jí)職稱7名,研發(fā)人員30多名。既有納米材料制備領(lǐng)域的材料專家,也有來自于拋光液公司對(duì)于磨料的需求和技術(shù)發(fā)展具有深刻理解的人才,還有在集成電路半導(dǎo)體化學(xué)機(jī)械平坦化與拋光方面的微電子專家,這幾類人才可以保證新創(chuàng)納產(chǎn)品在CMP化學(xué)機(jī)械拋光上具有較強(qiáng)的優(yōu)勢(shì)。另外公司管理隊(duì)伍整體素質(zhì)較高,有著良好的知識(shí)結(jié)構(gòu)、年齡結(jié)構(gòu),富有激情和創(chuàng)新精神。

新創(chuàng)納公司團(tuán)隊(duì)介紹

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